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Barco portador de obleas de SiC
Barco portador de obleas de SiC para manipulación de hornos de difusión de células solares y semiconductores Barco portador de obleas de SiC para manipulación de hornos de difusión de células solares y semiconductores

Barco portador de obleas de SiC para manipulación de hornos de difusión de células solares y semiconductores

SiC Wafer Boat es esencial para transportar obleas a hornos de difusión para el tratamiento de recubrimiento en la producción de semiconductores y fotovoltaica.
  • Artículo No. :

    CS-SIC-J1001
  • Material : SiC

  • descripción

Propiedades del carburo de silicio Barco transportador de obleas



  1. Resistencia a altas temperaturas: Nuestro SiC Wafer Boat soporta temperaturas de hasta 1600 °C con una excelente resistencia al choque térmico, lo que garantiza una vida útil superior a 5 años.

  2. Alta pureza y libre de impurezas: Hecho de SiC de alta pureza, evita la introducción de impurezas, reduce la contaminación del equipo y mejora la calidad del producto.

  3. Ligero y duradero: Con una construcción liviana con alta resistencia a la flexión y capacidad de carga a alta temperatura, minimiza el tamaño del sistema de carga para una mayor producción de un solo lote.

  4. Estabilidad térmica y sin mantenimiento: Con un coeficiente de expansión térmica mínimo similar a los recubrimientos LPCVD, extiende significativamente los ciclos de mantenimiento y limpieza cuando se utiliza en aplicaciones LPCVD.




Aplicaciones de Carburo de silicio Barco transportador de obleas


Ideal para células fotovoltaicas y fabricación de obleas semiconductoras, nuestro barco de obleas de SiC se destaca en el transporte de obleas de silicio solar y obleas de semiconductores en hornos de difusión a temperaturas que oscilan entre 1000 y 1300 °C.


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